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面陣相機(jī)

FTC2.0X-80/C-4K28

產(chǎn)品特點(diǎn) 典型應(yīng)用

  • 高NA設(shè)計(jì)

    分辨率可達(dá)2.7um

    可選同軸，非同軸

  • 半導(dǎo)體芯片缺陷檢查

    晶圓量測(cè)


產(chǎn)品參數(shù)

FTC2.0X-80/C-4K28

同軸

Ο

景深（um）

56

倍率(X)

2.0X

遠(yuǎn)心度（<degree）

0.04

工作距離（mm）

80

光學(xué)畸變（%）

0.04

分辨率（um）

2.7

相機(jī)傳感器尺寸

4K7um

數(shù)值孔徑（物側(cè)）

0.125

接口

F

有效F/#

8

I/O（mm）

307


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