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面陣相機(jī)

FTC3.5X-78/C-12K62

產(chǎn)品特點 典型應(yīng)用

  • 內(nèi)置科勒照明系統(tǒng)，均勻度高

    可選同軸或非同軸

    分辨率可達(dá)3um

  • LED芯片缺陷檢測

    晶圓量測

    半導(dǎo)體檢測

產(chǎn)品參數(shù)

FTC3.5X-78/C-12K62

同軸

Ο

景深（um）

25.9

倍率(X)

3.5X

遠(yuǎn)心度（<degree）

0.04

工作距離（mm）

78

光學(xué)畸變（%）

0.04

分辨率（um）

3

相機(jī)傳感器尺寸

12K5.2um

數(shù)值孔徑（物側(cè)）

0.11

接口

M72

有效F/#

15.9

I/O（mm）

598


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